二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9060632 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種高性能設備，用於在多種基板上沈積一致可靠的薄膜。該系統能夠提供卓越的薄膜性能、均勻性和可重復性。這些薄膜的質量在AMAT ENDURA的業界領先的吞吐量、過程控制、靈活性和產量上都是顯而易見的。應用材料ENDURA利用先進的弧槍技術生產高質量的薄膜.電弧槍由一個包含高導電材料的陽極組成，如鎢、鉬或銨。然後將陽極放置在真空室內，並使用直流電源在陽極和陰極或基板之間形成電弧。電弧然後產生中性等離子體，以及在基板上的薄膜。ENDURA單元提供了一個高度可調的平臺,可針對各種應用進行定制。過程控制功能包括溫度、壓力和功率調節,從而能夠微調薄膜沈積。這使用戶能夠對反應性氣體、摻雜劑和其他工藝條件進行精確調整。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA機載板還提供了在沈積過程中修改膜厚度、均勻性和階梯覆蓋的能力。承載板利用多種氣源輸送增強膜，每種氣源通過自己的氣體質量流閥獨立控制。這允許在沈積過程中對反應物氣體進行調制，使薄膜具有優越的膜厚度控制。AMAT ENDURA反應堆是制造尖端裝置的關鍵部件。該工具生產的優秀薄膜在保持高吞吐量周期的同時，提供了出色的工藝控制和可重復性。影片可靠一致，使用戶能夠生產出質量最高的終端產品。