二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9093781 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA設備是一個集群工具平臺,專門設計用於提供經濟高效且高度可靠的半導體生產解決方案。具體來說，AMAT ENDURA平臺被用於生產具有最大質量和性能的高級內存、邏輯和3D FinFET技術。APPLICED MATERIALS ENDURA系統使客戶能夠實現將最先進的半導體技術與最高的單元可靠性和性能相結合的先進半導體工藝壯舉。ENDURA由一整套設備模塊組成,旨在為流程工作流的不同部分提供服務。這包括沈積、蝕刻和清潔、摻雜沈積和活化以及通過蝕刻。此外,它還具有智能熱控制系統和高吞吐量前端群集,旨在最大程度地提高效率並最大程度地減少停機時間。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA機利用最優質的固態CVD工具和標準的快速熱處理工具進行沈積。這確保了每個工藝層的最高質量。它還提供了工藝層之間最高的均勻性、剛度和附著力，以生產具有非常薄的晶體管架構的生產級基板。AMAT ENDURA工具還配備了高端蝕刻和清潔模塊，包括高性能等離子體蝕刻和用於沈積後清潔的LPCVD腔室。具體來說,蝕刻和清潔工藝使客戶能夠實現對外延層和半導體器件制造中使用的其他薄膜材料的高選擇性和深度控制的矽蝕刻。APPLICED MATERIALS ENDURA還配備了高端摻雜劑沈積和活化資產，用於在器件結構中摻入雜質。該模型采用專有的摻雜劑化學和熱活化，實現近乎完美的摻雜均勻性，達到完美的電性能和提高的器件性能。最後，ENDURA有一個創新的幹蝕刻設備精密接觸級光刻。這提供了具有次光刻間距和臨界長寬比的高分辨率圖樣，這在先進的設備生產中是必不可少的。