二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9096488 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆是為超高生產率加工而設計的高度先進的沈積設備。它在設計時考慮到了最高的生產效率,並在各種過程中提供了極端的平臺性能。AMAT ENDURA反應堆的堆芯是應用材料ENDURA增強級（EES）與自動化半導體生產系統（ASPS）。該裝置提高了對材料均勻性的控制和保證，提高了工藝的準確性和可重復性。EES采用專有軸設計,使工具能夠與相關的感應器和機器人臂集成。此外，EES提供了統一、準確和可重復的腔室運動圖，更高效的基板裝卸，並減少了維護時間。ENDURA反應堆的高通量沈積工藝利用液源輸送機,能夠將反應性離子蝕刻（RIE）工具或離子註入資產無縫集成到其體系結構中。這樣可以實現流程步驟的一致和可重復吞吐量,以及自動化流程控制的完全集成。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆還具有一個真正的閉環過程控制和監測模型，該模型被集成用於優化過程開發和執行。AMAT ENDURA反應堆提供多種工藝室配置，目標材料不同。這允許用戶進行全面的自定義處理和靈活性。APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆也有兩種不同的運行模式，以提供優化的吞吐量和均勻性，這取決於工藝步驟或具體應用。在安全性方面，ENDURA反應堆擁有新開發的同時具有硬件和軟件保護的安全互鎖設備。這允許對系統中的任何流程步驟進行監控，並旨在為用戶提供最高級別的安全措施。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆還設有一個全自動材料數據庫，使用戶能夠始終保持有關材料工藝、當前工藝時間以及基板溫度控制的最新信息。AMAT ENDURA反應堆還配備了批量跟蹤單元和內部審計測井機。這允許用戶記錄對過程的任何更改,跟蹤批次和底物生產,並對處理過程中所做的任何更改或操作進行審計跟蹤。這樣可以確保始終提供最新的信息。總之，APPLIED MATERIALS ENDURA反應器是一種先進的沈積工具，能夠在各種工藝中保持超高的生產效率和靈活性。它配備了多種特性和技術，以確保最佳性能和安全，並提供獨特的生產控制平臺和高吞吐量能力。