二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9105850 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆是用於半導體制造的工業級主力反應堆。這種物理氣相沈積（PVD）工具設計用於將材料薄膜沈積在晶圓、芯片和其他基板上，用於電路、光子學、可穿戴設備和生物醫學醫療植入物等多種應用。AMAT ENDURA反應堆采用專利的三室設計，允許在每個序列中多次沈積和暴露。它支持銅、鎢、鋁和矽化物等沈積材料，以及鈦或鋁等封蓋材料。由於其精確的過程控制和可重復性，這種工具提供一致的結果和掩模的一致性。由於其超低粒子排放，不需要粒子計數器，晶圓回收和清潔的需要也較少，導致吞吐量比其他PVD工具增加。APPLICED MATERIALS ENDURA REACTOR also features features a flexible controller that that accessed for the wamer environment to supperate d這有助於確保高質量的薄膜被沈積。除沈積能力外，ENDURA還能夠使用包括過氧化氫和TMAH在內的多種化學方法進行濕蝕刻和表面清潔。這種蝕刻功能有助於提高某些設備的性能,例如MEM和其他對濕度蝕刻效果不佳敏感的設備。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA反應器由於其多功能性、強大的設計和片斷的思維能力，廣泛應用於半導體和光電制造。實現了快速、準確的薄膜沈積，實現了良好的工藝參數重復性，提供了良好的工藝控制。