二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116839 待售

ID: 9116839
PCII Chamber system.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器是一種物理氣相沈積和蝕刻設備,旨在應對先進包裝、光學和MEMS行業的生產挑戰。AMAT ENDURA確保了精度、準確性和可靠性,以滿足這些要求苛刻的應用程序的嚴格要求。APPLIED MATERIALS ENDURA的集成硬件平臺設計用於沈積、退火、表面制備、計量和光刻等多種復雜過程。該反應堆允許低溫、惰性、反應性和真空過程能力,以及過程控制。ENDURA可以加工金屬、矽、氮化物、二氧化矽和有機材料等多種材料。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA具有模塊化平臺和與其他AMAT ENDURA系統的兼容性,為各種半導體和外形尺寸封裝提供了可擴展性。APPLIED MATERIALS ENDURA還提供了與包括小尺寸晶片在內的多個晶片尺寸的兼容性。該反應堆是專門為在精確精度至關重要的環境中使用而設計的,適用於任何需要高吞吐量、重復性和卓越工藝控制性能的應用。ENDURA包括一套工藝控制系統,如AMAT i-coat工藝控制套件,提供自動晶圓修補和蓋子間隙,以及自動化工藝配方、經驗證的沈積速率和優越的工藝控制性能。這使得系統能夠以最小的變化保持較高的沈積速率。該裝置還具有多種選擇,例如高沈積率的熔爐和無熔爐沈積物。其通過機械和低溫泵產生的真空機,提供了對工藝時間和高真空環境的優越控制。高端工具包括ICP ETCH和APPLIED MATERIALS專利的POLITE面板和退火資產,用於為工藝和計量精度提供額外的蝕刻和退火控制。該反應堆還設有SEMI雙梁對準站,以提高工藝精度和生產率。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器因其精確度和精確度而設計,以滿足先進包裝、光學和MEMS工業的需求。其優越的過程控制、模塊化平臺以及與其他AMAT ENDURA系統的兼容性,使各種過程能夠減少停機時間並提高產量。該反應堆的多用途技術旨在幫助公司在其生產需求的整個生命周期內達到最高水平的工藝精度和產量。
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