二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116853 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種先進的高通量金屬沈積設備，旨在提高金屬沈積速率，提高技術要求苛刻的蝕刻、基材放置和沈積工藝的可重復性。該系統可實現單個或多個沈積源、連續或周期性晶圓旋轉,並提供高均勻性和可重復性。AMAT ENDURA反應堆由幾個組分組成，作為一個統一的單元協同工作，以有效地執行沈積過程。這些組件包括一個工藝室、端效應器、凸起的面板裝載機、冷卻風扇、加速度計、多個沈積源和一個專門的控制單元。加工室是機器的主要模塊，由一對控制壓力、流量和溫度的同心汽缸壁組成。APPLICED MATERIALS ENDURA ENDE-EFFECTOR允許晶片在腔內放置和旋轉，並放置在杠桿操作、低粒子發射、擡高面板裝載機上方，以便快速和方便地裝卸基板。一個大功率冷卻風扇工具，加上幾個溫度傳感器，在整個工藝室中保持均勻的溫度分布。高級加速度計用於記錄和監視晶圓的運動，以保持一致的結果。此外，ENDURA Reactor可配置用於多種沈積源，適用於各種合金類型及其沈積，其中包括氙、合金、金、鋁等。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor還提供了豐富的功能,使資產更易於編程,減少了不必要的可變性,並提高了過程吞吐量和統一性。互鎖功能可防止晶片仍在進行中時發生任何接口步驟,而安全模型可防止在互鎖時意外打開工藝室門。控制設備允許用戶精確地控制和規劃整個沈積過程。直觀的圖形用戶界面（GUI）允許用戶實時查看、分析和修改基板位置和設置。該軟件還能夠自動生成用於多個復雜沈積的配方腳本,從而更快、更準確地執行作業。綜上所述，AMAT ENDURA反應器是一種先進的高通量金屬沈積系統，旨在實現沈積過程的自動化和提高效率。其精密的組件和軟件使其成為可靠、通用和能幹的單元，從而提高了金屬沈積速率和準確性。這使得機器非常適合廣泛的金屬沈積應用，如蝕刻，基板放置和其他沈積過程。