二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116854 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種精密的等離子體蝕刻反應器，用於半導體制造工藝。它旨在提供最高級別的一致性、生產率和控制,同時保持最高級別的精度和準確性。AMAT ENDURA反應器被用於蝕刻過程中，這涉及到去除氧化物和硬面膜等材料以創建接觸開口、溝槽和通氣。APPLICED MATERIALS ENDURA反應堆的核心是Multi-micron Delta設備，利用三種主要技術實現精密蝕刻。首先是多微米氣體碰撞，它不斷地碰撞反應室內的氣體，使它們能夠更好地與樣品反應，從而提高均勻性。其次是Multi-micron Magnetron-Enhanced Plasma Source，它利用低功耗的RF能量來提高均勻性。最後，將多微米電感耦合等離子體源用於電感耦合等離子體反應離子蝕刻過程（ICP-RIE），提高了材料的選擇性。ENDURA還包括一個專有配方優化系統，該系統自動化配方執行和優化以實現最大的生產力。電源控制為用戶提供精確的電壓/電流/電源控制，使他們能夠在蝕刻過程中進行調整以獲得最佳效果。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器還具有幾個工藝室，允許在原子層水平上進行包括氟和氯在內的多種蝕刻化學。AMAT ENDURA的主要特點之一是它的多模式操作，為用戶提供兩種操作模式：流程和監控。在過程模式下，用戶可以對APPLIED MATERIALS ENDURA進行程序化蝕刻樣品，而在監控模式下，單位則觀察過程中的樣品並記錄壓力、溫度、氣流、腔室密度等參數。ENDURA還具有自動診斷功能，可以檢測流程不穩定並提醒用戶，因此他們可以采取糾正措施。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種先進的蝕刻反應器，在半導體制造過程中提供無與倫比的精度和精確度。它結合了創新技術和自動化優化系統、Multi-micron Delta機器和配方優化工具,使用戶能夠放心地蝕刻更小、更復雜的結構,確保更高的產量和更大的利潤。