二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9130423 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種先進的等離子體處理設備，旨在滿足現代半導體工業的需求。它是一種單一晶片反應性離子蝕刻器（RIE），用於包括光刻和幹蝕刻在內的多種工藝。反應堆配有等離子體源和集成系統控制器，以確保最佳性能。AMAT ENDURA反應堆常用於集成電路、MEMS和其他電子器件的制造。其大功率射頻源可處理介電幹蝕刻、薄膜沈積、硬面膜蝕刻、材料蝕刻等復雜蝕刻過程。其改進的均勻性和精確度使設備能夠降低成本和提高性能。該反應堆是專門為提高工藝產量和吞吐量而設計的。它有一個集成的壓力控制單元，在操作過程中保持最佳氣流和壓力，確保等離子體反應均勻，產品金屬的ppm範圍低。此外，反應堆先進的壓力控制器和負載鎖使得高通量制造復雜的高縱橫比結構成為可能。APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor還有一個集成的溫度控制機，能夠在蝕刻和沈積過程中維護動態溫度曲線。這樣可以提高工藝穩定性和均勻性,提高設備產量。ENDURA反應堆還配備了廣泛的安全特性，如先進的真空工具和多級防護系統。這確保了操作過程中人員和資產本身的安全。這些安全特性與反應堆先進的控制系統相結合，保證了模型的穩定性和可靠性。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種高度先進和可靠的加工設備，用於各種蝕刻和沈積過程。其先進的控制系統、均勻性和精確度使設備的制造具有更高的性能和更低的成本。其集成的壓力控制、溫度控制和安全系統確保系統能夠安全可靠地運行。這使得AMAT ENDURA反應堆成為需要降低成本同時提高產量的半導體制造商的理想選擇。