二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9150112 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種革命性的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）設備。它是一個高度靈活和先進的系統，在廣泛的沈積應用中提供卓越的薄膜質量和性能。該單元旨在為用戶提供定義其獨特工藝參數的尖端選項，同時最大限度地提高生產率和產出。AMAT ENDURA Reactor由單室堆叠設計而成，允許多種晶片能力高達9英寸或更高，並配有一系列假晶片，確保膜質量的均勻性，以滿足各種用戶的需求。全自動解決方案得到了先進的工藝控制器系統的補充，這些系統的功能從低溫前體控制到腔室壓力控制，以及從基板到基板的均勻性。該反應器采用具有特殊聚焦板和精確晶圓定位器的邊緣偏置，以實現沈積的均勻性。還通過APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor先進的工藝監測能力，包括原位質譜儀和反射儀，確保了精確的薄膜性能。ENDURA反應堆還裝有用於輔助工藝集成的鎖載機，具備先進的安全特性和監控能力。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor用途廣泛、用戶友好，使用戶可以快速輕松地定義其工藝參數，並根據不斷變化的需求快速調整。AMAT ENDURA反應堆節能，有助於降低能源成本，符合確保安全工作環境的最高安全標準。總體而言，APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor是一種高度先進的工具，在各種沈積應用中提供卓越的薄膜質量和性能。ENDURA Reactor提供多種晶圓功能、先進的過程控制器系統以及原位質譜儀和反射儀，用戶可以快速、輕松地調整參數以滿足他們所需的應用，降低能源成本，同時提高生產率。