二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9153474 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是CVD（化學氣相沈積）和PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）的最先進的工具，能夠進行精確可靠的基板表面改性。該設備可實現準確的過程控制和可重復性,從而產生高質量的薄膜和圖樣。AMAT ENDURA反應堆是工業應用的最佳選擇，提供經濟高效的加工、可靠性和精確的控制。APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor是一種結合了蝕刻室和沈積室的多室裝置，能夠快速準確的處理。CVD/PECVD蝕刻室用於以統一的方式和精確的控制來蝕刻基板表面,從而創建理想的結構拓撲。第二個沈積室用於將保形膜沈積到蝕刻表面，提供經濟高效的均勻性，這對於一系列應用至關重要。該系統還進行了優化，以提供非常精確的方面控制，使納米結構的制造成為可能。ENDURA反應堆的配置選項為樣品處理提供了靈活性。該裝置還提供不同類型的流體輸送歧管，其中可以將各種源氣體引入腔室。該機器包含先進的晶圓控制硬件和自動關閉協議,以最大程度地減少對樣品的潛在損壞。此外，該工具還提供基板溫度監測和易於使用的模式識別軟件。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種提供最佳工藝控制、可靠性和成本效益的綜合資產。該模型在許多工業過程中得到應用，從制造用於微電子的薄氧化層到合成用於電信的納米級光波導，再到制造用於傳感器的小結構。AMAT ENDURA反應堆是滿足您精密工程和工業加工需求的理想合作夥伴。