二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9155075 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是AMAT開發的先進蝕刻沈積反應器。該設備的設計使各種化學氣相沈積和等離子體蝕刻工藝具有高精度、高均勻性和高通量，適用於半導體、光學和工業領域的一系列應用。該系統由幾個組件組成，包括一個加工室、一個鎖載室、一個源室、一個轉移室和一個氣體面板。該工藝室是該單元的主要部分，並容納該工藝源，以提供形成所需工藝所需的原料和反應性氣體。鎖載室用於向加工室提供真空密封以進行階梯加載。源室包含原子層沈積、分子束外延和濺射等應用的專用源。轉移室用於運輸和轉移加工材料，以及作為主加工室和鎖載室之間的緩沖。該腔室和氣體面板用於監測和控制惰性載流子和化學前體氣體進入工藝腔室的壓力、溫度和流量。AMAT ENDURA的設計目的是在單個大型反應室中提供精確穩定的工藝環境。這種機器的設計即使在多層工藝過程中或具有困難的沈積材料時也能提供優異的薄膜性能。APPLIED MATERIALS ENDURA具有優化的過程控制、高分辨率診斷和自動化過程控制,非常適合需要高性能和可重復性的各種沈積和蝕刻過程。在工藝溫度方面，此工具的溫度範圍為10°C至400°C。壓力範圍也是可調的，為10-5 Torr至1.8 Torr。此外，該資產與多種前體氣體兼容，並有一個可調的印版陽極，用於蝕刻過程。在安全性方面，該型號結合了多個安全傳感器，以監測腔內的氣壓和溫度水平。該設備還具有先進的原位清洗程序，以減少所需的腔室重調量並防止與除氣有關的問題。綜上所述，ENDURA是一種高度精確和先進的蝕刻沈積反應器，旨在以高精度和通量進行CVD和等離子體蝕刻過程。該系統具有可調電平陽極、安全傳感器和自動化過程控制，非常適合各種沈積和蝕刻應用。