二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9161792 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種高效、最先進的反應堆，專為高速、大批量生產而設計。它是一個用途特別廣泛、可靠的平臺，能夠處理小至150毫米、大至300毫米的晶片。AMAT ENDURA采用先進的技術來確保最高質量的工藝,包括先進的晶圓映射、多軸晶圓對準、多區域溫度控制和先進的功率控制。通過這些特性,應用材料ENDURA已成為高容量吞吐量和高精度過程控制的行業領導者。ENDURA由航天級鋁和不銹鋼部件制成，提供堅固堅固的結構。這與高度智能的晶片處理控制軟件相結合，該軟件能夠在該過程中執行超過50個不同的過程，如晶片映射和對準、高清電視檢查、氧化、沈積和蝕刻。利用AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA，可以高精度地實現高質量的矽化物和外延步驟。AMAT ENDURA最令人印象深刻的特點之一是它能夠在所有基板上提供穩定、可重復的結果。這是通過基板映射和對齊的雙面實現的，這保證了晶圓兩側的一致結果。此外，晶圓運動子系統的特點是高速直流電動機能夠非常精確的步進和重復運動，使過程更加一致。先進的熱驗證系統有助於在整個工藝室內保持均勻的溫度，並能夠非常精確地控制不同基板之間的溫度。這有助於消除處理步驟引起的任何熱變化風險,從而產生更一致的結果。這種先進的控制系統還具有高精度的單區自適應晶圓溫度傳感器，可確保在加工過程中精確測量晶圓溫度。最後,APPLIED MATERIALS ENDURA還提供了一個全面的數據記錄包,用戶可以有效地查看其處理日誌。此數據記錄包具有高質量的記錄分辨率、實時顯示日誌內容和用戶定義的日誌參數。此軟件包可幫助最終用戶輕松準確地排除其流程中的任何問題。總而言之,ENDURA是一個高效可靠的處理平臺,具有先進的過程控制技術,使用戶能夠獲得可重復的高質量結果。是大批量生產需求的理想選擇。