二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9165615 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種用於半導體器件制造工藝的高性能、全場批量反應器。設計用於各種蝕刻和沈積應用，這種反應器提供了極好的過程均勻性和可重復性。AMAT ENDURA反應堆有兩個溫區，兩個氣區，兩個電源和兩個等離子體源，可以結合使用，為各種半導體器件制造作業創造理想條件。APPLICED MATERIALS ENDURA REACTOR通過使用其先進的控制系統（包括觸摸屏顯示屏,可手動操作或使用腳踏板控制）提供卓越的過程控制和可重復性。這允許操作員調整基板溫度、射頻功率、等離子體參數和氣流等參數，以獲得最佳工藝性能。這個設計精良的反應堆室具有多室架構，可以一次處理多個過程挑戰。其氣密結構保證了多種反應性氣體的穩定、持久運行。在腔壁周圍使用堅固的機械密封件，確保在操作過程中保持真空完整性。反應堆可配備廣泛的氣體，如氧氣、氯氣、氟氣、氙氣和氮氣，可用於沈積、蝕刻和清潔作業。其先進的氣體輸送系統確保這些反應物氣體的精確、可重復輸送。ENDURA反應堆還可以安裝廣泛的專業，如自動腔室清洗、溫度控制和腔室溫度濫用系統。這使得反應堆能夠在很寬的溫度範圍內運行，而不會影響工藝性能。反應堆設計為高度模塊化和可定制，允許用戶添加額外的電源和等離子體源等組件。這使得它能夠用於各種各樣的應用，包括沈積、蝕刻、離子植入和清潔。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器是各種半導體應用的理想選擇。它提供了出色的過程一致性和可重復性,以及靈活、可定制的操作。它也是高度可靠的，提供了一個漫長的、免維護的運營壽命。