二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9166439 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 PECVD Reactor是半導體行業工作的科學家、工程師和技術人員的強大工具。AMAT ENDURA 5500反應堆為等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）提供了最高的效率和吞吐量。應用材料ENDURA 5500有兩個平行的反應物氣體噴射系統放置在反應堆的兩側。反應物氣體噴射器旨在優化氣體混合，同時提供必要的反應物氣體流動。最大工作壓力為6巴，可實現廣泛的沈積過程。此外，ENDURA 5500反應堆在1至6巴的壓力範圍內運行，並且在不同的晶圓尺寸（50至300毫米）上運行。通過使用AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 5500，科學家和工程人員可以定制其沈積過程的操作參數。AMAT ENDURA 5500反應堆提供了出色的工藝控制，使研究人員能夠精確地確定其實驗所需的條件。溫度和壓力的監測精度分別為0.1 °K和0.1 mbar。反應堆具有細粒溫度控制，允許緊密控制底物溫度和均勻性。此外,APPLICED MATERIALS ENDURA 5500還提供了沈積過程的精湛均勻性和可重復性.這是通過使用高性能通量發生器實現的，該發生器有助於保持晶圓上的均勻通量分布，消除晶圓和工藝運行之間的差異。通過提供均勻的薄膜厚度和均勻的蝕刻輪廓，ENDURA 5500有助於提高產量和吞吐量，有效縮短加工時間。Applied Material AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 5500還具有強大的設計和處理能力,可確保對高精度基板和設備進行可靠和可重復的處理。該反應器具有低振動室，可確保操作準確，減少對工藝環境的汙染。反應堆還內置了自動清洗系統，進一步減少了停機時間和汙染風險。總體而言，AMAT ENDURA 5500是一種功能強大、用途廣泛的反應堆，為半導體沈積過程提供了卓越的工藝控制和均勻性。