二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9167421 待售
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ID: 9167421
晶圓大小: 12"
PVD Preclean chamber, 12"
Includes:
CTI Cryogenics P300 On-Board cryopump
P/N: 8116250G001 & 8113192G001 Control module
GRANVILLE-PHILLIPS Stabil-ion gauge & 352 gauge controller
AMAT 0010-21748 RF match
Process chems: DI water helium argon nitrogen.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器是半導體工業中用於物理氣相沈積(PVD)和化學氣相沈積(CVD)應用的工具。它提供生產級吞吐量,具有多種腔室配置和執行各種沈積的能力。AMAT ENDURA是一個獨立的、易於使用的工具,它可以簡化操作、改進流程結果並減少停機時間,同時縮短上市時間。它采用了創新的負載鎖定設計,最大限度地提高了效率,允許用戶在各個加工區域之間轉移基板。APPLICED MATERIALS ENDURA的主要優點是其高性能的工藝頭,專為下一代設備復雜的金屬化和先進的介電應用而設計。這個過程頭能夠在一個腔室中處理多達五個過程步驟,使得在大大減少的循環時間內完成多次沈積成為可能。此外,ENDURA還具有高效的氣源入口,提高了工藝室內的溫度穩定性。這樣可以提高晶圓的均勻性和工藝的可重復性,從而使產品更加一致。利用AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA,也有可能在同一工藝室內達到低缺陷水平。這要歸功於它的低顆粒汙染,這是通過一個獲得專利的模塊化送閘系統實現的,該系統只能確保受汙染的顆粒逸出。AMAT ENDURA還具有多室平臺,允許用戶為自己的特定應用選擇合適的配置。在提供多種配置的情況下,用戶可以輕松自定義其設置並一次執行多種類型的沈積,從而最大程度地提高其過程靈活性,並使他們能夠快速實現所需的結果。最後,APPLIED MATERIALS ENDURA是一種易於操作的工具.它包括一個直觀的觸摸屏用戶界面,它簡化了創建配方和優化流程的過程,幫助用戶快速、準確地實現所需的產品結果。綜上所述,ENDURA反應堆提供各種腔室配置的生產級吞吐量,使多個工藝步驟和沈積在減少的循環時間。它是一種高性能、易於使用的工具,可簡化操作並縮短流程時間,同時實現低缺陷級別的可重復結果。
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