二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9167548 待售

AMAT（應用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是在研究和生產環境中加工基材的工具。該工具專為半導體、先進包裝、光伏/太陽能生產中的單晶片和批處理應用而設計。該反應堆采用獨特的連續晶圓傳輸工藝，提供增強的晶圓吞吐量和提高的屈服性能。AMAT ENDURA是工藝的理想選擇.它在同一反應堆中提供全晶片處理，吞吐量高達每小時100晶片。該工具為各種模塊處理提供了多種選擇，包括退火、氧化、蝕刻、金剛石沈積、離子註入等。該系統還提供了一個自動加載和卸載模塊,模塊之間的傳輸時間為0.5秒。APPLICED MATERIALS ENDURA由反應堆室、基板處理程序和多個處理模塊組成。反應堆腔室呈圓柱形，面積體積比大，允許低壓運行，等離子體汙染最小。這使得該系統適用於單晶片和批處理應用的處理。基板處理程序設計用於在加載的盒式磁帶和處理模塊之間快速、準確地傳輸基板。ENDURA提供卓越的流程靈活性、可重復性和可靠性。這使得它非常適合高級研發任務和批量生產。它配備了精確的控制系統和精確的加熱系統，這意味著該工具可以精確控制過程氣體和過程溫度。這導致沈積速率比其他沈積系統所能達到的低。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA的設計目的是提供可靠的工藝,因為它具有用於溫度、壓力和流量測量的各種冗余工藝參數。它還設計了一系列安全功能。這包括一個表面溫度監視器和位於處理室內的過溫傳感器。在業績方面，AMAT ENDURA是無與倫比的。此工具提供了快速的周期時間、卓越的流程可重復性和高流程產量。它還提供了最新的過程自動化,允許單處理和批處理應用程序。它的設計和可靠性使其成為任何基材加工應用的理想選擇。