二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9170089 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
已售出
ID: 9170089
晶圓大小: 8"
Chambers, 8" Heater/Pedestal Option: A101.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是AMAT為在一系列基板上生產較小集成電路而創建的反應堆。該反應堆設計為在集成電路的生產過程中執行三個關鍵步驟。第一步是物理氣相沈積(PVD),即將材料薄膜沈積到基板上的過程。這樣做是為了改善基板的電氣和結構特性。第二步是低壓化學氣相沈積(LPCVD),用於沈積第二層材料。第二層可用作絕緣層或觸點層。最後,最後一步是蝕刻,用於去除不需要的材料,在基板上創建精確的圖案。該反應堆能夠處理多種材料,包括多晶矽、矽化物、鈷、移植物、銅、鎢、喹、硼、磷和矽。它的設計具有高度的靈活性,使其能夠處理各種底物和工藝,包括:濺射、沈積復合層和蝕刻。AMAT ENDURA反應堆配備了先進的技術特點。它擁有一個Robistar™線性驅動系統,一個直流電弧和磁控管濺射系統,一個RGA質譜儀,和多頭噴砂和激光修剪。反應堆還利用數據采集系統(DAQ)處理和控制反應性氣體環境的底物。APPLICED MATERIALS ENDURA效率高,在集成電路的制造過程中提供了精確的結果.它還具有低溫操作範圍,提供高生產率和優異的產量。反應堆配有四個頭,最多可同時加工四個底物,是大批量生產的經濟高效選擇。此外,由於設計是模塊化的,用戶可以在不同的基板之間切換,並根據自己的需要量身定制生產過程。在安全性方面,ENDURA反應堆經過認證,符合CE標誌的標準。它帶有多個安全傳感器來檢測氣體泄漏、溫度和壓力。反應堆還采用緊急關閉系統和緊急通風系統,以增加一層保護。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器是一種高效、精確的集成電路生產工具。它的特點使得它成為大批量生產和一系列基材的理想選擇。它的模塊化和靈活性使其成為各種設施的理想選擇。此外,安全特性還保證了以最低風險獲得可靠和高質量的結果。
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