二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9170733 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器是一種先進、通用、高效的工藝室，用於各種半導體加工應用。AMAT ENDURA反應堆具有廣泛的能力，包括蝕刻、沈積、氧化和其他加工。APPLIED MATERIALS ENDURA的主要優點是提高了工藝的吞吐量和均勻性。ENDURA室由一個大的圓柱形不銹鋼容器和一個扁平、均勻的底板組成。容器的壁襯有石英或陶瓷絕緣體。在腔室內部，多擋板系統使整個過程的壓力、溫度和過程氣體均勻。TheEndura的各種部件，包括電源、真空泵、冷卻系統和氣體輸送系統，都安裝在作為端蓋一部分的平臺上。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA的冷卻系統使用液體冷卻，即水或乙二醇的專有混合物，在整個腔壁和零件中循環。此冷卻系統可維持腔室的溫度,並保護其免受處理過程中產生的高熱載荷的影響。此外，冷卻有助於保持更均勻的熱分布，以促進高工藝均勻性。AMAT ENDURA反應堆中可使用多種氣體，包括非反應性過程氣體以及四氯化矽、三氟化氮、二氧化氮、臭氧等生物成分。根據正在執行的工藝類型，可以在不同濃度和壓力下同時使用多種氣體。該腔室設計有各種端口，可以引入和疏散氣體。APPLIED MATERIALS ENDURA的電源和其他組件旨在最大限度地減少功耗並最大程度地減少熱應力。其電容耦合，射頻發電機設計為蝕刻沈積提供高頻功率傳遞。發電機剛性安裝在腔室，射頻發電機控制從電子控制面板進入，允許精確調節。ENDURA是各種半導體處理應用的有效且通用的工具，提供了提高的吞吐量、統一性和改進的熱管理能力。它還易於操作和維護，使其成為用於半導體等先進領域的理想選擇。