二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9175665 待售

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ID: 9175665
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
EXTENSA TTN Chamber, 12" Process: Thinfilm Currently warehoused 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Equipment是一種用於半導體生產和先進材料研究中薄膜沈積的最先進的沈積系統。該設備經過精心設計,可提供卓越的性能和正常運行時間,提供靈活性和經濟性。機器描述如下:AMAT ENDURA刀具利用高性能沈積刀具在各種基板上實現精確的薄膜沈積。利用可變壓力環境,該腔室可在多種溫度範圍內提供精確的薄膜沈積控制,使其成為各種工藝應用的理想選擇。該模型配備了高效的負載鎖、包含多個先進沈積源的腔室、退火前和退火後系統、氣箱以及其他先進的子系統。根據應用,源可能包括電子束源、熱絲源或直流電等離子體源以及閃光燈等其他特殊源。此外,該設備還擁有一整套先進的監測和控制系統。APPLICED MATERIALS ENDURA系統可用於各種制造過程,從先進的半導體生產到新型創新材料的推進。對於半導體生產,薄膜沈積可用於處理薄膜晶體管、自旋電子學和納米電子學,而在先進的材料研究中,沈積可用於制造復雜的量子器件和材料,如石墨烯、碳納米管、範德華爾組件。在這些過程中使用的材料和基材從矽基基基基材到低k和高k介電薄膜。該裝置能夠進行精確的儲存、加熱、冷卻和濃度控制,非常適合先進的工藝。此外,該機器還配備了一系列安全系統,有助於確保可靠和安全的運行。ENDURA Tool結合了卓越的性能、精確的薄膜沈積和前所未有的靈活性,使其成為半導體和先進材料研究的理想沈積平臺。資產由全球網絡支持,提供支持和資源以幫助確保持續正常運行和持續優化。
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