二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9176602 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種反應堆，旨在為各種溫度下的先進材料研究提供應用。設備配備了均勻溫度室和等離子體處理、兩個爐子等多種特點，以及提供平板基板在任何溫度下均勻性好的加熱區。因此,它是快速熱處理（RTP）和快速熱退火（RTA）過程的理想選擇。AMAT ENDURA的加熱區能夠輸送80°C至1050°C的溫度。熱源的均勻性提供了熱加工的均勻性，對先進的材料研究至關重要。該系統還包含等離子體源，從而為材料處理和沈積提供低溫等離子體。APPLICED MATERIALS ENDURA被設計成可以使用高靈敏度的材料，如氧化氘錫（ITO）和電介質，以及光學活性材料如陶瓷和金剛石。ENDURA單元包括兩個熔爐模塊，一個帶有石墨加熱元件，一個帶有碳化矽（SiC）加熱元件。加熱元件的額定溫度均高達1000 °C,並安裝在真空室中,以提供出色的整個基板加熱均勻性。熔爐模塊在較高的溫度下具有極好的均勻性，這對於先進的材料研究至關重要。該機器裝有兩個等離子體源，一個用於反應性離子蝕刻（RIE）工藝，一個用於化學氣相沈積（CVD）工藝。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA還配備了一個集成參數化測量工具（PMS），使實驗室人員能夠監控實驗進度。PMS提供電流、溫度和電阻讀數，使研究人員能夠實時準確測量實驗參數。PMS還促進了資產能力的擴展,允許集成最新的材料開發技術,例如3D制造或納米管應用。總體而言，AMAT ENDURA是用於先進材料研發的可靠、強大的反應堆和實驗室解決方案。其溫度均勻的腔室和廣泛的特點，包括兩個爐和加熱區、等離子源和參數測量模型，使其成為進行困難材料加工作業的理想選擇。該設備用途廣泛且可靠,能夠在加速的時間範圍內提供優異的效果。