二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9182273 待售

ID: 9182273
晶圓大小: 12"
AXZ Chambers, 12" Process: PVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種多室設備,可用於半導體和其他工藝行業的多種應用。該反應堆支持具有各種特點的高質量制造工藝,如高溫/壓力/真空兼容操作以及基於等離子體的沈積解決方案。該系統在選擇和組合制造材料方面具有很高的靈活性。AMAT ENDURA反應堆的腔室是專門為先進金屬和材料的沈積而設計的。它配備了先進的過程控制技術,能夠準確控制過程變量。反應堆在腔室的頂部、底部和側面都裝有大窗戶,便於不間斷地觀察過程。單元中的電容器有助於消除粒子,以及向電極提供電流。室內溫度由人工和自動控制的陶瓷分體式加熱器控制。APPLICED MATERIALS ENDURA REACTOR提供了一個電子回旋共振源,與感應耦合等離子體源結合工作,創造了一個非常高效的等離子體環境。高效的等離子體環境使各種宏觀等離子體材料得以沈積。反應堆室還設有氣體分配機,將過程氣體精確地分布在基材表面。該工具還可以方便地進行氣體預過濾和監測。ENDURA反應堆的設計非常方便用戶和安全。它帶有嵌入式軟件,使用戶可以輕松地對硬件和流程參數進行編程、監控和控制。該資產還具有集成警報系統、數據記錄/歷史記錄支持以及高級材料/電極監控功能等多種功能。此外還有溫度過高保護器和電流過高保護器等安全特性。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是廣泛制造和工藝應用的理想選擇。其多才多藝的設計、人性化的界面、高品質的建築,使其成為現代制造業的完美選擇。
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