二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9190959 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種基於CVD（化學氣相沈積）的薄膜沈積設備,旨在提供精確、厚度和均勻性的薄膜沈積。AMAT ENDURA系統是一種先進、高速率、高通量的解決方案，能夠產生一致、可靠的薄膜層，具有優異的均勻性和一致性。該單元的主要應用包括介電膜沈積、屏障層、鈍化層、蝕刻止動層。應用材料ENDURA由三個主要部件組成，以提供所需的薄膜：裝載板、反應容器和控制機。裝載板由一系列夾具組成，夾具固定底物並將其運送到反應容器。反應容器是工具的最大部件，通常由一個大的圓柱形不銹鋼室組成，該室包含兩個或三個水冷電極，室內有數百個金剛石尖端電極，以產生均勻的負靜電場。ENDURA資產的控制模式允許對整個沈積過程進行精確控制。這包括設置壓力、溫度和氣體流向反應容器的速率等參數，以及對電極的功率補償。另外，反應容器的溫度、電極數量和電極間距以及底物傳輸速率可以根據需要進行調整。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA設計用於在包括有機和無機材料在內的多種基材上快速沈積具有均勻性和保形性的薄膜。該設備還可以實現比其他類似系統更高的沈積速率，沈積速率高達每小時10微米（µm）。該系統提供了實現非常可重復和可重現的工藝結果的能力，確保了薄膜沈積工藝的準確性和精確度。為了實現均勻性和流程可重復性,AMAT ENDURA還具有多種內置故障安全功能,例如超溫保護單元和一組傳感器來監控流程。APPLICED MATERIALS ENDURA是一種多功能、動態的機器，非常適合需要高質量薄膜沈積的行業。ENDURA工具提供了卓越的工藝效果、優異的一致性和一致性、卓越的沈積速率以及多種自動化故障安全功能。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA資產是高品質薄膜產品開發制造的理想解決方案。