二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198481 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種先進的蝕刻反應器,能夠對蝕刻過程提供高精度的控制。AMAT ENDURA采用模塊化體系結構設計,可提供靈活性和可擴展性,使其成為研究和行業的絕佳選擇。它具有可定制的工作流蝕刻室,可用於高端晶圓處理。APPLIED MATERIALS ENDURA的腔室由多個組件組成,包括優化的氣體註入環、等離子體源和安裝座。它通過能夠並行運行多個蝕刻配方的集成過程控制器來控制蝕刻過程。該工藝控制器支持手動和自動控制,並且能夠在蝕刻室、工藝控制器和外部源之間共享數據。ENDURA是為清潔、衛生和工藝維護而設計的,通過對蝕刻工藝提供卓越的控制。它能夠支撐廣泛的基材材料,包括矽、III-V化合物、玻璃、高k電介質和低k電介質。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA的獨特之處在於它產生高縱橫比蝕刻窗,導致光滑且高度均勻的蝕刻。它還具有原位靜電清洗系統,有助於保持室內清潔和無汙染。AMAT ENDURA先進的等離子體源提供了一種高密度的等離子體,促進了有效的蝕刻和對基材的最小損害。這些源針對電感和電容耦合系統進行了優化,從而實現了靈活性和可擴展性。APPLICED MATERIALS ENDURA的廣泛特性使得它非常適合半導體行業的蝕刻和清潔。ENDURA易於操作和設置,幾乎不需要停機。它有許多選項可供選擇,包括手動、半自動和自動配置。此外,它的設計符合最新的行業標準,並且與現有的系統和流程兼容。憑借其先進的功能和靈活性,AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA是研究、工業和生產環境的絕佳選擇。它的模塊化設計和可擴展性確保該過程保持高效和高成本效益。它是高精度蝕刻和晶圓加工的絕佳選擇。
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