二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198483 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是由先進技術平臺全球領先者AMAT設計制造的高性能反應堆。這種尖端反應器旨在方便薄膜層和其他材料在半導體基板上的沈積。AMAT ENDURA能夠以高達200 nm/min的沈積速率沈積氧化物、多晶矽、氮化物和金屬基材料。APPLIED MATERIALS ENDURA的多用途工藝室可以配備多種來源配置，從單一來源到最多四種前體不等。此外，反應堆還可以適應三個等離子體源和一個物理氣相沈積源。ENDURA反應堆具有多個溫度控制區，允許精確的溫度控制和基板均勻性。該工藝控制器提供多達九個溫度區，以便於將各種材料沈積到基板上。該工藝控制器還支持多達32個額外步驟的配方，以進一步完善基板沈積工藝。為了提高反應堆的性能，AMAT/應用材料ENDURA采用AMAT ENDURA EQ軟件。這個高級軟件監視每個工藝參數，並提供反應堆運行的實時反饋。APPLIED MATERIALS ENDURA還擁有一系列先進的安全功能。反應堆的設計符合半導體工業制定的嚴格安全規定。例如，反應堆的外部被1000級潔凈室包圍。此外，ENDURA反應堆的泄漏速率為1.3 Pa cc/sec。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA還設有一個緊急關閉開關和一個在反應堆達到不安全溫度水平時發出的警報。AMAT ENDURA反應器是各種半導體應用的理想選擇，用於生產DRAM、SRAM、NOR、NAND和RFIC。這種多功能反應堆可用於制造各種芯片設計和尺寸。APPLIED MATERIALS ENDURA還支持廣泛的工藝技術,包括元件、3D結構和封裝。總體而言,ENDURA反應堆提供卓越的性能、多功能性和安全性,使其成為各種半導體應用的理想選擇。它是可靠的、最先進的設計和高級軟件,可確保在達到最高行業標準的同時最大限度地提高生產率。