二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198484 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是業界領先的單晶圓反應堆,旨在支持制造用於微電子器件的先進半導體。它為高溫和化學應用提供了高性能和可靠的操作。AMAT ENDURA反應堆具有單晶片真空工藝室、高效泵送系統和精密的控制系統。這樣就可以嚴格控制過程並提高產量。APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor配備了Advanced Materials的專利MultiCryo™技術,該技術采用絕緣材料和低溫冷卻相結合的方式,以確保高溫過程的均勻性和可重復性。該反應堆還采用AMAT專利諧波調諧烘烤技術,降低功耗,提高溫度均勻性,提高工藝重復性。此外,集成的動態控制Flow™系統還以卓越的速度和準確性為目標,以提高生產效率和吞吐量。ENDURA Reactor的建造具有業界領先的安全特性,如先進的真空互鎖和工藝室清洗,以保護人員和設備。真空壓力控制還確保系統保持安全狀態。板載汽缸壓力傳感器和幹氮凈化裝置為工藝優化提供了額外的安全選擇。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor包括一個集成的圖形用戶界面(GUI),使用戶能夠從世界任何地方監控和控制過程。系統的Smart Diagnostics Suite檢測流程異常,並向用戶提供可行的反饋。此外,反應堆的設計是可擴展的,並且易於與其他設備集成,以實現更復雜的過程。AMAT ENDURA Reactor是希望提高產量、降低成本、提高生產線吞吐量的制造商的理想工具。它結合了先進的特點和堅固的安全系統,使其成為半導體制造的一個有吸引力的選擇。
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