二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198485 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種高性能的高級反應器,設計用於薄膜沈積過程。它旨在提供更高水平的薄膜生長均勻性、過程控制和可預測的薄膜效果。AMAT ENDURA反應器允許沈積具有先進化學成分的高質量薄膜。該系統利用先進的內室工藝來驅動薄膜的非視線沈積。應用材料ENDURA非常適合薄膜光伏、光電、平板顯示器、GaN晶體管和MEM等應用。它利用化學反應和離子輔助過程來沈積各種薄膜,同時保持薄膜的化學成分一致。其專有的熱通量控制系統也允許精確的溫度控制。ENDURA先進的射頻能力還提供過程控制和提高沈積均勻性。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA采用了一種環保設計,采用室內臭氧生成系統,以減少對CVD和PVD工藝中使用的臭氧生成組件的需求。這減少了由於臭氧積聚而需要頻繁維護的情況。高級數據采集功能還提供了對室內流程信息的最大可見性,以確保進一步的流程控制。與其他薄膜沈積系統相比,AMAT ENDURA以其能力和可靠性而脫穎而出。其特點包括精確的過程控制、先進的統一性、增加的吞吐量、減少的維護以及改進的過程可重復性。使用APPLIED MATERIALS ENDURA,用戶可以在環保、節能的設計中獲得卓越的薄膜質量。其先進的性能使其適合任何類型的薄膜沈積工藝,並使其成為許多行業所必需的。
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