二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198486 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種下一代等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，設計用於生產先進的IC技術所使用的高性能材料。反應堆提供高精度的基材加工，包括化學二氧化物沈積，以及沈積低k材料的能力。這使設備制造商能夠生產比傳統方法更好的半導體器件，提高器件性能和可靠性。AMAT ENDURA是生產高性能半導體材料的一種經濟高效的方式，每小時可運行多達12次晶圓。低k材料在生產中的加入很重要，因為低k材料減少了電路延遲，提高了電氣性能。APPLICED MATERIALS ENDURA能夠以極高的控制和精確度將這些低k材料沈積到基板上,從而由於高效且均勻的互連間距而提高了設備的電氣性能。反應堆內的等離子體環境也可用於創建更均勻的無空隙層，從而實現更一致和可靠的性能。PECVD工藝的高精度性質也有助於消除靜電充電，這會損壞精細的設備結構。ENDURA利用先進的粉末塗層傳遞臂將信號從輸入/輸出接口（I/O）直接傳輸到基板。這增加了PECVD過程的準確性和速度，減少了由於多個基板並行快速處理而導致命令誤解或損壞設備結構的風險。此外，粉末塗層傳遞臂減少了離子對底物的損害。除了減少離子損傷外，手臂還對基板的溫度提供了更好的控制，這可以有助於提高成品裝置的產量和質量。為了保持穩定的過程,AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA采用了高級流量控制器。這包括將基板與排氣流實時隔離，這有助於減少過程中的變量數量，從而使結果更加一致和可靠。Advanced Flow Controller（高級流量控制器）還允許用戶控制PECVD過程的溫度,以獲得更準確和受控的結果。AMAT ENDURA是一種先進的PECVD反應堆，為設備制造商提供了多種好處。它允許高性能材料以及低k材料的沈積，具有高精度和精確度，從而提高了電氣性能。此外,Advanced Flow Controller允許改進溫度和基板管理,從而提供更加一致和可靠的生產過程。APPLICED MATERIALS ENDURA是先進半導體行業的寶貴工具,能夠創建復雜且增強的器件。