二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198488 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種先進的多用途化學氣相沈積設備,用於開發用於制造半導體器件的多種薄膜。AMAT ENDURA主要用於沈積和蝕刻兩種功能.沈積是將材料薄膜像晶圓或圓盤一樣添加到基板上的過程。當一種化學氣體反應物在應用材料ENDURA中被引入一個腔室並暴露於引起反應的熱能或等離子體能時,這種反應就完成了。這種反應產生一種汽化形式的材料在室內覆蓋基材在一個均勻的層。蝕刻,一種用於去除或改變材料形狀的工藝,也可以用ENDURA Reactor處理。這可以通過兩種不同的方式來完成:用化學反應濕蝕刻和用物理反應幹蝕刻。在濕蝕刻中,高度腐蝕性的化學物質在底物表面保持反應以去除材料,而幹蝕刻則涉及使用高能離子攻擊材料。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是尋求高品質、可靠生產工具開發集成電路裝置的客戶的有效選擇。它具有多種特性,使其成為沈積和蝕刻過程的可靠選擇。AMAT ENDURA利用先進的流體輸送系統,使化學反應物以高達每小時200晶圓的驚人吞吐量準確、均勻地輸送。反應堆還具有先進的溫度控制能力,確保晶圓的溫度保持在所使用材料的理想範圍內。自動冷卻系統允許溫度在APPLIED MATERIALS ENDURA處理過程中保持穩定。此外,反應堆采用隔離室設計,可減少微粒、氣體和化學蒸氣的積聚,從而產生極好的均勻性沈積膜。ENDURA反應堆是一個極好的工業級反應堆,提供高性能和可靠性,以滿足生產要求。它是半導體工業制造集成電路器件的絕佳選擇。
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