二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198490 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種先進的物理氣相沈積（PVD）設備，用於薄膜沈積。該系統設計用於高精度塗覆表面的電介質、導電或磁性薄膜。AMAT ENDURA具有無與倫比的吞吐量、擴展的工作距離和集成的高級工藝控制工具,為薄膜沈積提供了可靠、高效和經濟高效的解決方案。APPLICED MATERIALS ENDURA是一個強大而高效的物理氣相沈積單元，具有多種特點。它提供高達20英寸/分鐘的高流程吞吐量、大流程區域（11 x 12 x 50英寸）和最大200英寸/分鐘的行程速度。此外,ENDURA還具有獨特的延長工作距離（EWD）功能,可在不中斷工藝的情況下去除基板。這也允許比其他PVD系統更高的沈積速率。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA允許使用集成的計量、過程控制和分析功能進行精密薄膜沈積。它通過使用增強的光學檢測機，確保了精確和可重復的薄膜厚度和均勻性。此外，AMAT ENDURA設有閉環過程控制、原位光學反射測量和控制過程平臺。這樣可以方便地進行配方設置、精確沈積和實時過程監控。除了精密的能力外，APPLIED MATERIALS ENDURA還為操作員和工藝保護提供多種安全功能。例如，它有一個全封閉的雙點激光安全簾，用於操作員保護，以及基板處理工具的安全罩。ENDURA是多種應用的理想解決方案，包括介電、導電和光學薄膜、光敏塗層和納米技術。其可靠的性能和高效的吞吐量使其成為任何現代工業制造工廠的絕佳選擇。