二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198491 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆是晶圓級沈積和蝕刻工藝的通用、經濟高效的平臺。它具有創新但可靠的體系結構和軟件可選擇的流程配方。AMAT ENDURA反應堆設計用於處理廣泛的沈積和蝕刻過程，允許用戶快速選擇和修改物理和化學操作的順序。APPLICED MATERIALS ENDURA反應堆的堅固設計和結構使其能夠在整個基板上實現持續、高通量和均勻的性能。它旨在提供卓越的材料柔韌性，允許蝕刻硬質和軟質材料以及沈積復雜的金屬合金。包括DC、I.F.和R.F.在內的各種等離子體源,使得復雜的過程和hi-k介電材料具有極好的均勻性。ENDURA反應堆還設計用於支持包括O2、Ar、Xe和He在內的多種源氣體，以及許多附加化學物質的組合。反應堆的模塊化設計為配置不同的蝕刻室和沈積室提供了靈活性，甚至允許在一個系統中使用不同的化學物質。直觀的AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA軟件套件包含一些用戶友好的功能,以支持流程配方。用戶可以快速選擇和修改物理和化學操作的順序，讓AMAT ENDURA反應堆在不改變硬件的情況下輕松支持不同的過程。這一方便的功能使用戶可以在進程之間切換時節省時間和金錢。除了工藝能力外，APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆還配備了若幹精細的監測和機載診斷工具，以確保準確和可重復的結果。反應堆的機載傳感器提供實時反饋，允許調整電流、壓力、溫度和其他參數以獲得最佳性能。ENDURA反應堆的建造是為了維持過程環境，並將粒子保持在較低的水平，允許更高的產量。此外,系統設計為自動監控流程環境,以檢測可能導致流程結果不正確的任何更改。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆是晶圓級沈積和蝕刻工藝的通用、可靠、經濟高效的平臺。其廣泛的操作範圍，用戶友好的軟件，以及徹底的監控系統，使其成為廣泛的晶圓沈積和蝕刻過程的絕佳選擇。