二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198492 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種計算機控制、高性能的化學氣相沈積(CVD)反應器,為滿足半導體苛刻的沈積要求而設計。與上一代系統相比,AMAT ENDURA使客戶能夠制造產量和設備性能顯著提高的設備。APPLICED MATERIALS ENDURA是在大容量制造(HVM)環境中沈積的行業領先平臺,例如在3D NAND和磁記錄介質以及MEMS(微機電系統)中的應用。憑借其先進的硬件、軟件和材料功能,ENDURA使客戶能夠在其設備層中快速準確地編碼目標電子、光學和機械性能,從而獲得更好的性能。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA是業界首個3-D沈積系統,可提高生產效率和提高過程控制能力,同時減少缺陷。它具有全碎片、自動源輸送以實現無與倫比的化學品輸送速率以及現場端點檢測系統以實現更精確的過程控制。利用先進的建模技術和實時過程反饋,AMAT ENDURA可以優化沈積過程中的層位/重叠均勻性、沈積速度等重要參數。APPLIED MATERIALS ENDURA有三種獨特的配置,稱為「平臺」或「MO」,旨在滿足特定的HVM要求。ENDURA 5000為3 D NAND和DRAM等大型設備提供最佳性能,而AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA 3000為內存使用而設計,如移動DRAM和AMAT ENDURA 1000針對較小的設備和晶片,如MEMS。APPLICED MATERIALS ENDURA被設計成一個能適應HVM環境中半導體沈積不斷變化需求的強大平臺。ENDURA的高級控制和監控系統允許客戶實時跟蹤流程參數,從而能夠快速調整設置以獲得最佳結果,並優化流程控制以實現故障安全性能。它的高級控制和監控系統還使客戶能夠在最短的停機時間內及時快速診斷、故障排除和解決問題。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA精確的室內化學和過程控制功能確保他們能夠快速開發新的過程配方並優化其配方以提供增強的設備性能。
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