二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198494 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種用於蝕刻工藝的半導體制造設備。AMAT ENDURA反應器設計為生產高性能微芯片和集成電路，特別註重晶圓底部，從而在降低功率和面積的情況下產生更高性能的晶體管。APPLICED MATERIALS ENDURA反應器是一種多級製造反應器，利用多個蝕刻室對晶圓表面提供高精度的蝕刻和清潔，確保高產率和器件性能。這些腔室的設計與各種蝕刻化學方法兼容，使它們能夠用於不同的蝕刻過程。反應室是密封的，允許蝕刻化學殘留在晶片從一個腔室移動到另一個腔室時會被重用。蝕刻室配置有獨特的流體輸送器，由兩組氣動執行器處理，以便對蝕刻過程進行精確的局部控制。執行器連接到蝕刻室，以便對蝕刻化學的流動進行精確調整。這樣可以實現晶片表面的最佳蝕刻和清潔。ENDURA反應堆還配置了先進的控制和測量系統，用於優化蝕刻工藝。該系統能夠監控幾個過程參數，如壓力、溫度和流量。反應室還可以配置各種成像和數據采集系統，以便對該過程進行實時監測和成像。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA反應堆的主要優點是其精度和適應不同蝕刻化學和制造工藝的能力。AMAT ENDURA反應堆是一個高效可靠的反應堆，為生產高質量的微芯片和集成電路提供了一個整體成本效益高、可靠的解決方案。