二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198495 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆是一種高精度、超精度、多過程的制造設備,旨在為下一代微芯片的生產提供統一和一致的結果。它能夠通過密度優化和直徑減小來產生支持高產率的高度可靠和吞吐量優化的結構。AMAT ENDURA具有多區域流程自適應環境,使客戶能夠微調和優化系統參數以實現其期望的目標。這包括先進的原位應用材料ENDURA電化學過程和用於退火的快速熱處理（RTP），以及其他過程。它有一個高負載、可變現場生產室，帶有遙控板加熱器和單側氣動控制錨固，用於精確裝卸工藝基板。反應堆具有獨特的用於調節壓力、溫度和其他工藝條件的閉環控制單元，以確保精度和工藝控制。這臺機器還允許用戶保存和檢索過程序列和配方，使得無論每批處理的晶圓數量如何，都容易復制理想條件。還可以定制該工具,以滿足客戶的需求,如通過體系結構、介電和導體材料選擇以及特征尺寸等。ENDURA具有很高的可靠性和效率，具有低顆粒生成和堅固的跟蹤工具，能夠提供資產集成和出色的基板保存。該模型采用超精細動態過程控制，保留了關鍵的過程參數，防止了制造特征的移動和變形。這確保了可重復性，並防止任何粒子脫落由於控制不力。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆是制造可靠、均勻、高精度、生產速度快的微芯片的完美設備。它能夠提供穩定、一致的結果,並針對產量和性能進行了優化。該系統具有過程自適應環境、閉環控制、低粒度生成等特點,非常適合先進的制造,並能滿足客戶的需求。