二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198496 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor，或稱AMAT ENDURA，是一種最先進的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）設備。它用於半導體制造，以創造高質量的介電膜，以及需要先進材料的新內存和邏輯器件應用。APPLICED MATERIALS ENDURA反應器具有多種創新的特性和能力，使其成為許多先進薄膜沈積工藝的理想工具。它利用多過程平臺，支持沈積，蝕刻，植入應用在一個系統。這允許使用更多的不同晶圓材料和工藝，使其適合各種應用。該反應堆采用車載數字控制器和精密的容器裝載裝置設計，方便高效的晶圓處理。其先進的自動化能力使晶片易於裝卸，也有助於多層沈積和蝕刻應用。ENDURA還具有高效和可定制的機電膜沈積機。具有生產均勻性高、控制沈積率提高、功耗合理的薄膜能力。它還包括一個XYZ軸級，以允許過程自動化，包括在沈積和蝕刻過程中移動晶圓的能力。此外,該工具還提供精確射頻（射頻監測）監控,使用戶能夠準確控制射頻電源並監控整個沈積過程。這提高了工藝能力，以及沈積層厚度和組成的一致性和均勻性。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA還提供原位溫度控制，使工藝的溫度在生產過程中得以準確監測和調整。總體而言，AMAT ENDURA反應堆是半導體制造的強大沈積資產。它的一套高級功能使其成為創建高質量介電膜以及其他需要高級材料的內存和邏輯設備應用程序的理想工具。該模型允許對各種金屬和介電膜進行高效和受控的處理，並提供一致的沈積質量和均勻性。