二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198499 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種用途廣泛、容量大、全自動的反應堆，設計用於先進的半導體加工。這種多功能反應堆允許在單個工作站同時進行沈積、蝕刻和清潔操作。該設備采用AMAT專利Aeroflex噴嘴設計，確保顆粒分布均勻，工藝控制準確，薄膜沈積更高效、更精確。利用這一特性，AMAT ENDURA可以提供超薄膜，以及優化薄膜厚度和晶片均勻性的機制。系統的氣體分布通過使用精細的氣體管理單元在整個基板表面均勻進行，氣體流量測量保持在很高的精度。此外，APPLIED MATERIALS ENDURA還配備了自動化過程控制硬件監測機，能夠管理多達8種不同類型的反應堆參數。這包括壓力、流量和溫度的實時反饋流,可實現精確的過程控制。該工具還采用了基於配方的軟件平臺，允許用戶預先編程他們所需的流程配方，並將其流程參數保存給未來的用戶。再者，ENDURA可以與各種不同的反應堆配置一起使用，允許其在廣泛的工藝應用中使用。資產可以按順序或聚類安排使用，也可以集成到現有或新的制造系統中。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA的占地面積較小，它擁有一個大的加工室，方便了較大的加工體積。最後，該模型還包括高效的疏散系統、多個渦輪分子泵和大功率加熱器。這種高水平的工程技術使AMAT ENDURA能夠突破高級制造的極限,提供諸如提高吞吐量、提高工藝精度和提高產量等功能。APPLICED MATERIALS ENDURA為廣泛的沈積和蝕刻應用提供了強大而靈活的解決方案，使其成為先進半導體加工的理想選擇。憑借其全面的設備能力和高效的過程控制,ENDURA為復雜的過程需求提供了增強的解決方案。