二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198500 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA® Reactor是一種專門的設備,設計用於在各種基材上執行各種化學過程。這類反應器被用於半導體、光伏（PV）和薄膜沈積工業，在晶圓或其他平坦基板上制造層膜。AMAT ENDURA®反應堆能夠進行化學氣相沈積（CVD）和物理氣相沈積（PVD）處理。機器的氣櫃配備了多達15個工藝模塊，提供了靈活性，並允許在同一個工藝室內使用不同的氣體和化學物質。氣體輸送和分配由一系列精密的閥門、孔口和質量流量控制器管理，確保該過程所需氣體的準確和均勻供應。在沈積過程開始之前，將基板放入腔室並加熱至所需溫度。在引入了該工藝所需的所有氣體之後，使用射頻功率、氣體化學和工藝壓力的組合來實現適當的混合物。反應器沈積的膜的均勻性在很大程度上取決於在整個沈積過程中保持均勻的壓力和溫度。為了達到這種均勻性，反應堆配備了帶有高溫計的石英視口，用於監測基板溫度。反應堆還采用主動加熱和被動加熱相結合的方式，確保基板溫度均勻穩定。采用射頻感應和電子束線性運動等主動加熱方法對基板進行精確加熱。APPLIED MATERIALES ENDURA® Reactor是一種多用途的機器,能夠在廣泛的應用中使用幾乎所有的過程化學和最佳的反應堆條件。這使其成為客戶對基本薄膜沈積工藝的有利選擇。反應堆利用射頻功率、氣體化學和工藝壓力相結合，確保可靠的可重復處理，以及均勻的沈積、層覆蓋和層厚度。