二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198502 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種多室共濺射設備，用於在半導體工業中將薄膜沈積在晶片上。為滿足半導體器件制造行業的嚴格要求，為提供低缺陷、高質量的薄膜沈積物而建造。AMAT ENDURA能夠在超低溫下沈積，用於PVD工藝在晶片上沈積介電層。應用材料ENDURA由清潔室和加工室兩大室組成。潔凈室是一個低濕度、超清潔的環境，溫度在200攝氏度左右。環境由一系列過濾系統、循環過濾器和離子泵保持清潔。它還有一個可編程的漿料分發器和一個用於裝卸晶片的盒式傳輸系統。該工藝室是一個低壓、低真空的環境，維持在150攝氏度和250C之間的溫度。腔室有幾個端口，包括機械臂端口、視口和激光幹涉儀端口，用於監測和控制沈積過程。它包含三個沈積物料來源，以及一個可在它們之間移動的晶片卡盤。可以配置源，使不同的源可以同時活動，允許材料的多層沈積。ENDURA有一個活動的內部監測單元，其中包括一個工藝監測儀、一個蒸發泄漏檢測器、一個開環控制單元和一個溫度傳感器，這些都是用來維持腔室的狀況和確保沈積質量的。該機還具有自動化晶片處理能力，以及計算機控制的晶片嵌套算法，可用於優化晶片在處理過程中的對準。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA被設計為在薄膜沈積中提供多功能性、精確度和一致性。它能夠生產高質量的薄膜，汙染物和缺陷含量低。它可以將多達五種不同的材料沈積到一個晶片上，每一層都有不同的厚度和化學成分。這些特性和功能使AMAT ENDURA成為將薄膜和其他材料沈積到晶片上的競爭激烈的平臺。它是一種功能強大、可靠且經濟高效的半導體器件制造操作解決方案。