二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198504 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA™ Reactor是一種用於半導體沈積應用的工具,旨在提供業界領先的工藝控制、低擁有成本和高吞吐量,以提高設備性能。該反應堆是利用多個氣體註入點精確控制溫度和流量的高溫、低壓、環型設備。AMAT ENDURA Reactor通過聚焦層均勻性、粒子抑制和線緣粗糙度（LER）提供準確、可重復、均勻的過程控制。集成控制系統提供了可靠的控制層和對惰性氣體輸送的精確調節；這種能力使薄膜厚度、顆粒抑制和線緣粗糙度均勻化，以滿足苛刻的晶圓要求。該單元還得到其調諧射頻源的進一步支持，這有助於確保晶圓表面的均勻應力分布，從而在保持電氣性能的同時實現更好的附著力和沈積均勻性。APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor也提供自動化的過程控制，有預設的配方和循環參數。這允許以最少的人工輸入來優化性能的可重復過程。它的集成狀態監視器允許即時查看所有過程參數,以改進故障排除和控制。此工具還提供集成傳感器,通過向反饋校正回路提供關鍵反饋來實現連續優化和均勻性控制。ENDURA反應堆包括幾個先進的安全功能，包括一個容納反應堆的安全外殼、一個具有可調壓力開關和可聽警報的快速疏散資產以及一個惰性氣體安全殼安全罩。此外，該模型還支持變頻射頻兼容性，以完全控制沈積參數以及遠程過程監控。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種用於半導體沈積應用的非常高效的工具，其設計目的是提供低擁有成本、高通量和對工藝參數的精確控制，從而顯著提高設備性能。直觀的用戶界面允許無縫操作,並且還包括一系列安全功能,以確保高效操作,同時將安全作為首要任務。