二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198509 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor （AMAT ENDURA Reactor）是半導體工業通用可靠的工具。用於微電子先進設備、MEMS設備和先進IC封裝的研制。該反應堆的設計使高溫過程具有堅固的設計，可提高過程控制和安全性。應用材料ENDURA反應堆具有三個標準反應堆室：主室、第二室和第三室。主室針對較高溫度（最高853 °C）進行了優化,並用於熱處理。第二個腔室通常用於反應性氣體，側面有一個可選的平底外延源。第三室為化學氣相沈積和濺射膜沈積等沈積過程提供低壓環境。反應堆能夠在許多氣體混合物中工作，包括標準氮（N2）、氙（Ar）、氦氣（He）和氫氣（H2）。它還具有適應定制化學前體的能力，允許更先進的過程，如化學氣體沈積（CHD）。反應堆的真空水平可以用數字閉環設備和高精度壓力傳感器進行驗證。ENDURA Reactor還配備了晶圓處理系統，使客戶更容易將其底物精確地放入單元。它具有使用機械機器的高度精確的晶圓夾持器，可以精確、均勻地放置基板。它還有一個可擴展的輸入/輸出接口，提供對多個反應堆和終端效應器的控制。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor還配備了先進的控制工具，讓客戶能夠實時監控和更改其批處理過程的狀態。它包括一個先進的PID算法，以確保對反應溫度、時序和其他過程參數的精確控制。資產還包括數據采集模型和存儲配方的能力，以最大限度地提高流程可重復性的效率。最後，它有一個大顯示屏，可以讓客戶輕松地監控流程的狀態。AMAT ENDURA Reactor是一種可靠且用途廣泛的工具，適合各種處理應用。其強大的設計和先進的控制系統提供了更好的過程控制和安全性,從而實現了一致的高性能結果。它還易於使用,為客戶提供了優化流程參數的靈活性。