二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198512 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種高性能、大型、單晶圓等離子體蝕刻反應器，設計用於復雜的制造過程。該設備在吞吐量、復雜性、均勻性和可靠性方面提供了卓越的工藝能力,從而實現了先進的薄膜沈積、蝕刻和濺射應用。AMAT ENDURA系統旨在提供最高級別的流程吞吐量和控制,同時提供最大的可配置性和統一性。它利用先進的氣體分配單元、自動等離子體發生器和能夠實現精確過程控制的腔室幾何形狀。APPLIED MATERIALS ENDURA machine features a configurable, multi-zone showerhead/Gas distributor assembly which provided precied control of reaction gass, and allowing a rif噴頭組件采用靜態或動態安全殼設計，將等離子體反應氣體均勻地引導到腔壁和基板表面，從而產生高度均勻的薄膜沈積、蝕刻和濺射。其獨特的配置允許極其準確和可重復的結果,以及增強的過程靈活性。此外,ENDURA工具還利用離子吸收器/擋板組件來增強等離子體的均勻性和均勻性,並利用循環時間優化包實現更快的吞吐量。該資產還包括一個自動過程控制程序，使應用工程師能夠密切監測和實時調整等離子體過程參數。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA模型使用了多種不同的工藝氣體，包括氧氣、氯氣、氙氣和氟氣，實現了廣泛的基於等離子體的加工應用，包括PECVD、RIE和濺射。AMAT ENDURA設備具有先進的特性和堅固的設計,即使在工藝復雜度最高的情況下也能夠生產高質量的薄膜、蝕刻和濺射金屬膜。總體而言，APPLIED MATERIALS ENDURA是一種高性能、功能豐富的單晶圓等離子體蝕刻反應器，即使在工藝復雜度最高的情況下也能生產高質量的薄膜、蝕刻和濺射金屬薄膜。該系統為所有薄膜沈積、蝕刻和濺射應用提供了在吞吐量、復雜性、均勻性和可靠性方面的卓越工藝能力。