二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198513 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器是一種通用、高效的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）設備。它旨在為各種半導體器件制造應用提供卓越的工藝性能和可靠性。AMAT ENDURA可實現各種金屬和電介質的外延沈積、柵極氧化物的形成和接觸層的沈積。它配備了先進的直接噴射等離子體源，以實現超快速的腔室疏散和均勻的等離子體密度分布，以及高度控制的過程溫度，以確保可靠的設備性能。APPLICED MATERIALS ENDURA反應器利用PECVD和電子回旋共振（ECR）技術提供卓越的工藝控制和通量。PECVD工藝通過ENDURA基於矽酮的前體輸送系統實現了具有所需厚度、速率和起伏的層的可重復、均勻沈積。與傳統的射頻源相比,ECR技術提高了工藝性能和可靠性,降低了運行成本。它還提供卓越的均勻性和改進的基板溫度控制，而不犧牲吞吐量。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA的設計非常靈活，使用戶可以輕松地為各種應用配置單元。通過使用可互換的模塊和組件，反應堆可以定制，以滿足額外的氣體管線和組件、石英腔室的變化以及源應用等特定的工藝需求。它還具有全面的控制包,可提供全方位的過程控制和優化功能。AMAT ENDURA利用專有的基於等離子體的預清潔技術來確保沈積過程之前的清潔晶圓表面。這種預清潔技術從晶圓表面清除有機和無機汙染物，從而在沈積和蝕刻過程中取得優異的效果。預清洗過程還減少了晶圓損壞的可能性，這可能與濕清洗技術有關。APPLICED MATERIALS ENDURA反應堆是PECVD和ECR應用的卓越機器，提供了更好的工藝性能和成本節約。其高性能、靈活性和過程控制確保用戶能夠以高效和可靠的方式實現所需的結果。ENDURA具有廣泛的功能和性能,非常適合先進的半導體器件制造應用。