二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198514 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器是用於制造先進半導體器件的最先進的薄膜沈積設備。AMAT ENDURA是一種先進的等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）系統，能夠沈積高度整合、保形和應力控制的薄膜。該裝置采用多室設計，在沈積過程中提供最大的通用性。APPLICED MATERIALS ENDURA machine used a robotic wafer handling tool with a high-speed, vacumulcom-lock wafer transfer that successed safely and reliable資產的晶片載體得益於用於適當晶片中心的隔離支撐基座、單獨的區域加熱控制以及用於提高均勻性的自動校準程序。該模型還采用了改進的石英鐘設計，采用了集成的沈積源，其配置具有較高的沈積率靈活性和較低的工藝可變性。此外，該設備使多個晶片能夠在單個腔室中進行處理，從而提高吞吐量和生產率。在工藝能力方面，ENDURA使得PECVD能夠沈積高質量的電介質以及專門用於制造半導體器件的電阻、柵極和其他材料。該系統還具有沈積有機金屬等材料保形層的能力。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA有一個高真空數字升華室（DSC），用於執行Sicon純化過程。該裝置能夠執行高溫退火（HT）工藝以增加材料應力或減少線寬粗糙度（LWR）,以及ALD清潔工藝以去除晶圓表面的有機汙染物。AMAT ENDURA機器是為提高安全性而設計的，它采用了改進的等離子體限制工具，防止反向溢出的等離子體顆粒撞擊腔室及其部件。最後,資產有多個傳感器和警報,可以將任何型號問題通知操作員,以確保最佳安全性、性能和可靠性。總之，APPLIED MATERIALS ENDURA反應器是一種多功能設備，能夠以安全可靠的方式進行沈積和凈化過程。該系統用途廣泛，有利於高效沈積用於制造半導體器件的薄膜和其他材料。它還具有傳感器和警報功能,以確保最佳安全、性能和可靠性。