二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198515 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9198515
Chamber I/O board Part number:0100-00546.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA(AMAT)是一種高性能沈積反應器,用於生產半導體工業中的薄膜,用於集成電路、顯示器和LED照明等多種應用。AMAT ENDURA利用先進的沈積技術,在塗層和沈積過程中提供卓越的工藝性能和基板覆蓋。此外,APPLIED MATERIALS ENDURA也以其多重退火選項和低溫沈積過程而聞名。ENDURA利用熱壁反應室,其中包含氣體、離子、原子和分子等多種材料來產生離子、原子和電子。這些離子、原子和電子形成厚度不同的薄膜層,這取決於所需的應用。然後在熱壁上放置一個底物來啟動反應過程。熱壁加熱到特定溫度,使反應物發生反應,形成具有所需性質的薄膜層。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA還配備了靜電卡盤來控制底物和反應室之間的電場。這使得AMAT ENDURA能夠管理沈積速率和薄膜層的均勻性。APPLICED MATERIALS ENDURA配備了先進的端點檢測設備,可監控薄膜層形成過程,並在所需點停止沈積過程。這有助於確保所需的薄膜層達到盡可能高的質量和均勻性。此外,端點檢測系統允許對層的均勻性和厚度進行更大的控制,這對於薄膜應用尤為重要。ENDURA還包括一個過程監測單元,以確保沈積過程中的準確性和可重復性。使用集成的監控機器對工藝溫度、壓力和流量進行監控和記錄,從而為薄膜層的優化提供反饋。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA是一種先進和可靠的沈積反應器,包括一系列特性,以確保最優質的薄膜層。AMAT ENDURA利用先進的沈積和退火技術,以及一系列的工藝控制和監測系統,為各種薄膜應用提供質量最高的材料。
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