二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198516 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種先進的等離子體沈積系統，設計用於制造半導體器件的銅基互連和屏障層。它是一個單一的晶圓反應器，結合了新的等離子體源技術，以確保均勻的層和更大的過程控制。AMAT ENDURA反應堆具有先進的磁控管雙源架構，允許兩種不同的等離子體等離子體以接近相等的能量發射。這提供了高度的等離子體均勻性，具有極好的控制沈積速率。它還允許在每個處理步驟中沈積多層，不需要蝕刻和其他熱處理。其先進的編程能力允許精確和可重復的沈積，以達到預期的結果。APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor利用多種沈積材料，包括銅、鈷、鎢和各種金屬，為互連和電路通路提供層。利用先進的等離子體均勻性、高沈積速率和增加的過程控制，使得ENDURA能夠快速獲得高質量的互連。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor配備了強大的等離子體電子回旋共振電離源，提供了非凡的等離子體均勻性和較高的沈積效率。這確保了銅和銅合金層極均勻的沈積，並使先進的銅互連成為可能。AMAT ENDURA具有一個氣體輸送系統，可實時測量氣體流量並進行相應調整，從而實現更高程度的控制。APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor還包括許多其他功能，如高性能的RF臭氧發生器、先進的可編程性，以及用戶友好的控制，允許非常精確和可重復性。這為用戶提供了及時實現最高質量互連和電路通路的能力。此外,ENDURA的設計與各種基材兼容,提高了銅基材料的工藝靈活性。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種先進的等離子體沈積系統，為銅基互連層和屏障層提供出色的過程控制、均勻性和增加的沈積速率。它通過先進的磁控管雙源架構、強大的基於等離子體的電子回旋共振電離源以及眾多其他特點來實現這一點。這使得AMAT ENDURA反應堆非常適合快速可靠地實現高質量的互連和電路通路。