二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198517 待售

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是為半導體制造和其他相關工藝而設計的先進蝕刻反應器。AMAT ENDURA反應器是專為進行晶圓的臨界各向異性（偏斜方向）蝕刻而設計的。這一過程對於生產集成電路和半導體產品制造中使用的其他組件至關重要。應用材料ENDURA反應器在處理各種晶圓尺寸方面是獨一無二的.這包括直徑200毫米（8英寸）和300毫米（12英寸）的晶圓。反應堆具有多種特性，使操作員能夠精確調整蝕刻速率和條件。這包括調整氣流和氣體成分及溫度的能力，以及控制過程壓力、功率和偏差。這種尖端反應堆利用真空源、低溫泵和高壓氣體供應來維持所需的蝕刻環境。為此，反應堆為最高整合水平而設計，允許操作員在同一設備上進行多次蝕刻過程。這提供了一種在多個工藝步驟和各種蝕刻化學中優化蝕刻條件的易於使用和有效的方法。ENDURA反應堆還配備了先進的控制系統，使操作員能夠精確調整工藝參數。這包括用於確保最佳腔室和氣體條件的反饋系統，以及可用於過程追蹤和分析的數據記錄。最後，該反應堆設計用於機器人工具的快速裝卸，以最大限度地提高正常運行時間和吞吐量。應用材料/AMD AMAT/應用材料ENDURA反應堆是為在半導體工業中廣泛的蝕刻應用而設計的。它為操作員執行蝕刻操作提供了一種可靠、高效、可編程的方式。它非常適合用於大容量、復雜的蝕刻過程,並允許使用集成的自動化兼容工具。這樣可以確保快速的流程轉換,並且優化的設置可實現最高效、成本最低的蝕刻操作。