二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198523 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種革命性的設備，設計用於生產半導體器件，如晶體管、二極管等電路元件。這一設備提供了介電層和金屬互連的整體原位低溫濺射沈積，以及生產這些設備所需的金屬觸點。這使得AMAT ENDURA成為半導體行業必不可少的工具。該系統本身由一個載荷鎖定室、加工室和兩個濺射源組成，用於實現原位濺射沈積。集成的鎖載室設計用於快速、安全地將晶片移入和移出加工室。然後在沈積過程中使用工藝室來控制壓力、溫度、氧氣和其他氣體。它還包含用於沈積金屬互連和生產半導體器件所需的金屬觸點的兩個濺射源。應用材料ENDURA能夠使用標準配方或氧基配方處理亞微米厚的介電層和金屬層。該單元還能夠非常快速地創建各種厚度的多層。它還具有通過化學氣相沈積（CVD）沈積和采用快速熱處理的能力，這對制造先進的半導體器件都很重要。ENDURA還包含一個磁控管，用於特征控制、層厚度均勻性和階梯覆蓋。該磁控管可直接放置在工藝室的中央，以增強均勻性控制。集成的自動裝載機和視覺機有助於加快生產時間，而先進的溫度控制和等離子體電源對過程提供了優越的控制。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是生產具有前所未有的層厚控制和均勻性的半導體器件的絕佳工具。其集成的元件允許快速高效的生產，並且憑借其先進的特性，可以將半導體產業提升到一個新的高度。