二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198524 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種生產級工程和制造工具。該反應器用作制造半導體及相關元件的單室溶液。它提供了一系列工藝能力，如薄膜沈積、蝕刻、植入、快速熱處理、快速熱退火、濕處理和其他專門操作。AMAT ENDURA利用高級設計功能進行高級過程控制、自動化,並為其各種功能快速開發配方。反應堆的架構很容易為各種最終用戶應用重新配置。此外,它還具有多種功能模塊（FM）,可幫助優化過程控制、維護潔凈室和延長設備使用壽命。APPLIED MATERIALS ENDURA可實現出色的溫度均勻性和精確的溫度控制,確保在所有處理周期中的性能一致。其靈活集成提供了設計、擴展和修改超出標準平臺中提供的功能的流程配方的能力。反應堆還配備了一個直流脈沖等離子體模塊，該模塊有助於清潔基板並提高工藝均勻性。ENDURA利用了多種工藝氣體，包括氮、氙、氦和氫，允許在多種底物中制造復雜的薄膜結構。該反應堆也適用於半導體的批量和直列式生產，使其成為半導體行業研發和制造的理想工具。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆配備雙靜電卡盤模塊和可選的背面加熱器，可實現更高的溫度處理和改善基板均勻性。此外，其強大的沈積和蝕刻技術可以適應廣泛的工藝技術，使其成為薄膜沈積、絕緣層形成和薄膜表面鈍化的一個非常通用的選擇。此外，AMAT ENDURA反應堆設計方便快速安裝，所有加工室和I/O連接都位於封閉式機櫃中。它還提供可靠的使用壽命操作以及較低的總擁有成本。總體而言,APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆是一種功能強大、用途廣泛且經濟實惠的制造工具,可用於各種最終用戶應用。它具有先進的技術,可確保卓越的性能、溫度均勻性和精確的溫度控制,使其成為制造半導體、復雜薄膜結構和其他組件的可靠合作夥伴。