二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198528 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器是一種廣泛用於微電子工業的多用途沈積工具,用於制造半導體所必需的材料層。該設備設計用於多種材料的沈積，允許快速的產品變更和最小的過程中斷。此外，反應堆的先進設計使其能夠執行各種原子逐個原子的沈積過程，從熱化學氣相沈積（CVD）到等離子體增強CVD（PECVD）再到電子回旋共振（ECR）PECVD。AMAT ENDURA反應器是一個大面積沈積室，在大面積基板上提供均勻沈積。這是通過水平反應管設計實現的，該設計產生一個均勻的反應物氣體流出整個腔室。這一過程是由獨特和創新的基板定位系統實現的，該系統允許在操作人員參與的最小程度上方便和準確地定位基板。反應管由石墨制成，具有熱解塗層，旨在優化熱傳遞，最大限度地減少沈積過程中底物的汙染。這是通過使石墨易於膨脹或隨工藝溫差收縮來實現的,從而即使在高達300 °C的溫度下也能保持材料的均勻性。腔室頂部安裝的淋浴總成在基板的整個區域提供均勻的反應物氣體分布。這是通過形成噴頭射流來完成的，噴頭射流將反應物氣體均勻地分布在基板上。除了沈積過程外，APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆還提供了多種安全控制系統。該裝置包括一個超低溫反應物氣源和一個低真空氣源。這使得半導體器件中的不同材料能夠安全沈積。此外，該機器還配備了全面、精確的測井和報警系統，為操作員提供有關過程和材料/步驟不穩定性的綜合信息。總體而言，ENDURA反應堆是一種非常寶貴的工具，用於制造半導體制造中復雜而精確的材料層。其先進的設計提供了均勻的沈積和最小的汙染，而其安全和控制系統則確保即使是最精致的材料也能最精確地安全沈積。