二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198529 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9198529
Degas wafer lift Part number: 0242-21351.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA (AMAT ENDURA) PVD設備是一種物理氣相沈積(PVD)設備,設計用於將金屬或合金材料薄膜沈積到電子、醫療和玻璃部件的基板表面上。該系統旨在滿足廣泛的市場需求,包括大批量生產和多用戶操作。APPLICED MATERIALS ENDURA反應器基於優化的雙動態網頁設計,它提供了一個較大的沈積區域,具有較高的吞吐量和較低的每個特征成本。它還包括節省空間的功能,有助於減少沈積安裝的占用空間。該裝置配有廣泛的真空機配置和腔室配置,可實現多種應用。該工具具有堅固的靜電夾緊設備,可確保基板的平整度,以及動態自對準機器人(DAR),可確保基板的精確定位和高產成型層。此外,該模型還具有先進的過程控制能力、可變性、模塊化以及各種應用程序和過程序列的可擴展性。該設備還支持原子層沈積(ALD)、熱離子註入(HII)、等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)等先進技術。另外還有增加磁鐵用於激光加工和光學材料加工的選項。ENDURA被設計用於各種材料和化學品,包括蝕刻工藝、光刻、電鍍等等。它還設計用於處理廣泛的基材,包括銅、不銹鋼、鈦等。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA系統提供高性能、靈活的計量和檢查能力。這包括現場計量,以確保確切的規格,同時收集詳細的過程數據。例如,Data Parcel Approach支持並發計量、數據收集和過程控制,還支持預測反饋控制。此外,該設備還包括一臺自動晶片攝入機,可消除手動設置,並提供降低停機時間的高效途徑。此外,該工具還包括許多提高吞吐量和產量的高級自動化功能。最後,AMAT ENDURA是一種優越的PVD資產,旨在滿足一系列市場需求。它專為不同的材料、基材和工藝而設計,具有強大而先進的工藝控制和檢驗功能。該模型還提供節省空間和自動化功能,以實現最大吞吐量、產量和成本效益。
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