二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198531 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種單一晶圓化學氣相沈積（CVD）反應器，在一個用途廣泛、成本效益高的設備中結合了非凡的均勻性和生產率。該反應堆采用創新設計，可容納多達830毫米的工藝模塊，以實現卓越的可擴展性，允許電介質和非電介質材料的前端沈積。AMAT ENDURA的先進技術在單個系統中提供了通用的集成過程功能。除了大批量生產所需的部件外，反應堆還包含一些旨在減少人為錯誤和改進過程控制的功能。該裝置的設計目的是為前體氣體與晶片基板接觸時間提供最大的無縫均勻性和精確控制。它還結合了晶圓冷卻機，在沈積過程中優化晶圓表面溫度剖面，導致材料沈積均勻。APPLIED MATERIALS ENDURA的過程模塊進一步增強了過程控制,允許使用廣泛的過程參數,以幫助為任何應用程序定制特定的需求。此外,反應堆的獨特設計使其能夠支持各種來源和技術,使工程師能夠靈活地在需求增加時適當地擴大生產規模。在安全性和可靠性方面，ENDURA提供全面的密封能力，其特點是密封門在過程開始時緊閉，直到完成完全密封。這些密封功能滿足嚴格的安全標準，為用戶在操作時提供安心。此外，反應堆的額定IP-65，確保工具部件的安全和保護免受異物、灰塵、小雨和濺水的影響。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是小型和大型生產設施的理想單晶圓CVD反應器選擇。憑借其龐大、可擴展的工藝模塊、出色的工藝控制和可靠的安全特性，該資產能夠滿足日益復雜的半導體行業的需求。